【中国仪表网 仪表研发】3月15日，重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项“微纳结构动态特性测试仪”项目在天津启动。该项目未来可实现对精密元器件“纳米”级别的检测，弥补人力识别检测的不足，为天津*制造业发展提供支撑。该项目共投资1448万元，实施周期为3年。
“微纳结构动态特性测试仪”项目由天地伟业技术有限公司牵头，联合清华大学、余姚舜宇智能光学技术有限公司、*长春光学精密机械与物理研究所、天津大学等8家单位共同承担。
科学仪器设备是科学研究和技术创新的基石，是经济社会发展和国防安全的重要保障。但是目前，我国元器件测量依赖于进口仪器设备。因此，我国将“微纳结构动态特性测试仪”项目列入“重点研发计划”，支持国产化高精度仪器研究和产业化。而目前天津正在重点打造人工智能、新能源新材料、生物医药等重点高科技产业，尤其是微纳制造领域具有一定优势。
“微纳结构动态特性测试仪”项目主要针对微纳结构与微机电系统(MEMS)器件动态特性测试的需求，突破高信噪比时空调制和自动调焦等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的微纳结构动态特性测试仪，开发相关软件和数据库，实现微纳结构与MEMS器件的振动频率、模式模态等特性测量分析以及典型缺陷识别。
项目完成后，将打破国外公司的技术垄断，实现高性能关键部件国产化及微结构动态特性测试产品系列化，并在航空航天和民品MEMS研发生产领域开展应用开发与示范，实现仪器工程化和产业化推广。
根据统计，目前已有141个重大科学仪器专项落在企业，就是要在中国形成一批有世界竞争力的仪器企业，为国内产业发展提供支撑力。
(资料来源：北方网、*、上海市计量测试技术研究院)