物质的辐射，具有各种不同的波长。由不同波长的辐射混合而成的光，称为复合光。把复合光按照不同波长展开而获得光谱的过程称为分光。用来获得光谱的装置称为分光装置或分光器。不同波长的光具有不同的颜色，所以分光也称为色散。经色散后所得到的光谱中，有线状光谱、带状光谱和连续光谱。不同激发光源所发射的光谱不同，对分光装置的要求也不同。
ICP光源对分光系统的要求
ICP光源具有很高的温度和电子密度，对各种元素有很强的激发能力，可以激发产生原子谱线和离子谱线。由于等离子体各部分温度不同，还可发射出分子光谱。所产生光谱的复杂性对分光装置提出很高的要求。
1）宽的工作波段
ICP光源具有多元素同时激发的能力，可以测定多达72个元素。其灵敏线分布的波长范围，从As188.98nm至K766.491nm,分光装置应具有180~800nm的波段范围。如果再考虑到铝的灵敏线Al167.081nm,铯的灵敏线Cs852nm,则分光系统的波长范围应为165~852nm。但常用的波长范围是190~780nm。
2）较高的色散能力和实际分辨能力
因为ICP具有很高的激发温度，其发射光谱具有丰富的谱线。Wohlers的ICP谱线表中记录了185~850m内的约15000条谱线，各元索间很容易产生谱线重叠和干扰。提高分光系统的分辨能力可以降低光谱干扰，改善测定的可靠性。同时，高分辨光学系统可降低光谱背景、改善检出能力。
3）良好的波长定位精度
在ICP光源中，谱线的物理宽度在2~5pm范围内，要获得谱线峰值强度测量的准确数值，定位精度至少在士0.005nm以内，实际上对分光单色器的波长定位精度要求为士0.001nm以内。
4）低的杂散光
低的杂散光可测定痕量元素并获得可靠的结果。高浓度的Ca溶液可以产生强的杂散光。好的分光系统应在进样1mg/mlCa溶液时，分析线波长处产生的增加值小于0.01~0.1g/L。用全息光栅分光装置可降低杂散光。
5）稳定性
分光系统应有良好的热稳定性和机械稳定性，提高其对环境的适应能力。
6）要求具有快速检测能力
在用扫描型仪器时，扫描速度对多元素测定的工作效率是限制因素。为了兼顾扫描速度和定位精度，可采用变速扫描，即在无谱线光区用高速扫描，在谱线窗口区用慢速扫描。