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uilibar平衡真空调节器是如何进行工作的？

Equilibar Vacuum Regulator是一种*的2级真空调节器。它利用Equilibar的超灵敏圆顶背压调节器技术，在各种不同的流速下提供的压力稳定性。

第1阶段：小型设定点调节器

阶段由一个小型敏感真空调节器组成，它产生的设定点压力等于所需的过程真空度。这个小型调节器由提供给较大调节器出口的真空供电提供动力。这种小型调节器还允许将非常少量的空气吸入其中，以减少真空设定点。

第2阶段：增压调节器

较大的调节器采用Equilibar*的直接密封隔膜技术，使过程（入口）压力与其圆顶上的压力（通过小型调节器）紧密匹配。第二阶段是超灵敏的体积增强剂。它还在潜在的腐蚀性工艺蒸汽和较小的设定点调节器之间提供化学隔离。

这个体积增压阶段实际上是一个圆顶负载的背压调节器。特殊隔膜阻挡了工艺孔的入口，防止真空泵将工艺压缩到设定点压力以下（在圆顶上）。一旦过程压力增加到设定点压力以上，气体就会抬起特殊隔膜并流向调节器出口。

使用电子设定点调节器

对于计算机自动化，很容易使用电子真空调节器代替手动设定点调节器。电子真空调节器有两个伺服阀，可快速打开和关闭，以控制由小型内部压力变送器测量的真空。它们就像电子压力调节器一样工作，除了在进气阀上使用环境空气，并且真空供应连接到出口阀。

Equilibar Vacuum Regulators采用两级设计，顶部设有一个设定点调节器，下面是一个更大容量的增压级。

平衡真空调节器
小型真空调节器用于为较大的真空调节器（用作容积增压器）生成设定点信号。

电子真空控制
小型电子真空调节器用于为较大的真空调节器提供设定点信号。

整体表现

即使气体流速和真空供应压力变化，这两个阶段的组合也提供非常稳定的真空压力。Equilibar真空调节器起价600美元，是许多复杂真空应用的理想选择，传统的低成本解决方案无法正常工作。

应该注意的是，该真空调节器是不可释放的非泄放型，并且不能快速增加入口上的压力。该调节器适用于始终存在至少非常小的气流的过程。如果您的过程是气密的，流量接近零，您的应用工程师可以与您讨论在调节器入口处提供小量气体排放的简单方法。